技术编号：9829295
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。五氟化磷(PF5)在半导体领域和电池领域中是工业上有用的材料。在这些领域中，有时制品原材料中的混合物对制品自身的性能或者安全方面产生大的不良影响。因此，对于这些制品原材料的品质，要求为更高纯度。对于五氟化磷(PF5)的制造方法，目前为止提出了各种方法。但是，为了高效率地获得高纯度的PF5，与来自于PF5的原料、制造方法的副产物等的混合物的分离成为问题。特别地，与作为原料的HF或SO3、PFJ^制造时作为副产物产生的HC1、P0F3或PF3或者作为原料的HF...
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