技术编号:9829347
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。专利说明2,2,4,4-四甲硅烷基五硅烷及其组合物、方法和用途本发明整体涉及2,2,4,4-四甲硅烷基五硅烷、包含其的化学组合物、制备和纯化2,2,4,4_四甲硅烷基五硅烷的方法、由此制备的纯化的2,2,4,4_四甲硅烷基五硅烷以及使用2,2,4,4-四甲硅烷基五硅烷作为前体来形成含硅材料的方法。含硅材料(例如,膜)可用作制造电子或光伏装置的电子电路过程中的半导体、绝缘层或牺牲层。适合这种用途的含硅膜可通过成膜沉积方法由一种或多种含硅前体制备。含硅前体可为...
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