技术编号:9829497
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及对准方法以及对准装置。背景技术例如公知专利文献I公开的如下的对准装置,该对准装置设于成膜装置,进行掩模与基板之间的对准,所述成膜装置通过所述掩模的掩模开口部将成膜材料淀积在所述基板上,从而在所述基板上形成薄膜。但是,近年来要求更高精度的对准,使用高倍率相机对掩模标记和基板标记进行摄像来进行对准的情况较多。使用该高倍率相机的对准例如按照图1所图示的流程进行。具体而言,将掩模搬入处理室内(a.),将已搬入的掩模设置在掩模架上(b.),利用运送机器人将...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。