技术编号：9829826
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。随着对具有不断变小的装置特征的集成电路的需求持续增加，对用于这些不断缩小的装置的检验的改进照明源的需求也持续增长。一种此类照明源包含激光维持等离子体源。激光维持等离子体光源能够产生高功率宽带光。激光维持光源通过将激光辐射聚焦到一定体积的气体中以便激发气体(例如氩气或氙气)进入能够发射光的等离子体状态而操作。此效应通常称为“栗浦(pumping)”等离子体。深紫外(DUV)检验器目前利用连续波(CW)等离子体源，而真空紫外(VUV)检验器目前利用脉冲等离子体...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。