技术编号：9834558
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。现代光学加工对镜面面形提出了更高的要求，评价镜面面形的一个很重要的指标是中高频误差，这种误差是由于加工时使用规则的加工路径形成的。但是中高频误差会对光学元件的成像质量造成非常大的影响，因此需要通过一定的手段控制中高频误差。国内很多高等院校和研究院所消除中高频误差的方式是规划光学加工过程中的路径，使用这种方式对消除光学元件表面的中高频误差会有一定的效果，但是并不能从根本上解决问题。发明内容本发明的目的是提供一种复合随机振动的小口径抛光装置，该装置能够在加工的...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。