用于抛光超大偏离度非球面的类气囊磨头的制作方法技术资料下载

技术编号:9834559

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非球面抛光是先进光学制造的难点,特别体现在如何有效去除非球面表 面中频误差。在抛光过程中,通常将抛光模与工件表面贴合,同时做高速相对运动,产生切 向力,使玻璃表面的微小突起被切削;由于非球面方程各点的曲率半径不同,普通的抛光磨 头很难与非球面表面实现完美匹配,因此,无法获得高精度的非球面光学元件。目前普遍采 用的计算机控制表面成型技术,由于主要采用小磨头抛光,抛光磨头接触区域较小且路径 轨迹固定,因此,无法有效去除中频误差。 非球面光学元件的定义为通常是...
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