技术编号：9836384
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。已知一种电子装置，其具有使用半导体制造工艺而形成的空洞部(例如，参照专利文献I)。作为这种电子装置的一个示例，例如可列举出专利文献I所涉及的MEMS(Micrc)Electro Mechanical System微机电系统)元件，该MEMS元件具有基板、被形成在基板的主面上的谐振子、被形成在基板的主面上并形成对谐振子进行收纳的空间的空间壁部。此外，专利文献I所涉及的MEMS元件的基板的一部分被形成为薄壁而作为隔膜发挥功能。而且，根据伴随着由受压引起的隔膜的...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。