技术编号：9836391
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及硅微结构的制备方法，尤其涉及。背景技术随着微机电系统(Micro Electro Mechanical System，MEMS)的不断发展，各类传感器、微执行器等功能装置不断涌现，小尺寸、高功率、高集成度的微能源器件需求日益突出。微能源器件因结构稳定、作用迅速准确、储能密度大和可批量生产等优势，在现代储能领域颇受重视。由于微能源器件结构二维面积有限，无法满足其储能要求，三维结构逐渐成为人们的研究热点。高深宽比三维结构能够充分利用高度空间进行储能以...
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