一种电化学式薄膜凝露传感器的制造方法技术资料下载

技术编号:9842708

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当前,凝露传感器有两种(I)电容凝露传感器;(2)光学凝露传感器。电容凝露传感器测量原理是电学原理,“凝露”前后电介质层的有效介电常数改变,电容量差别很大,采用芯片测量电容器容值变化来测量表面的凝露状态。光学凝露传感器常见的是冷镜式凝露传感器,它是根据光学原理,在“凝露”后,镜面对光的反射能力明显减弱,通过检测反射光的变化来检测表面凝露。由于光学凝露传感器存在光路系统,因此结构复杂,而且一般使用液氮或干冰作为冷源,因此,需要有相应的蒸发器,不仅体积较大,操...
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