技术编号：9842881
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 微机械加速度计是微机电系统中最为成功的器件之一，在民用与军事领域有广泛 的应用前景，孕育着巨大的社会效益和经济效益。微机械加速度计研究的相关报道最早出 现于20世纪70年代初，80年代单轴微机械加速度计产品面市，90年代末出现了多轴微机械 加速度计，美国AD公司的ADXL系列微机械加速度计是最具代表性的产品之一。 加速度计根据所采用的敏感机理分为压阻式、压电式、电容式、力平衡式、热对流 式、隧道电流式和谐振式等多种形式。其中谐振式加速度计通过测量谐振敏感...
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