一种带有过滤装置的mems海水电导率传感器的制造方法技术资料下载

技术编号:9842935

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目前,海洋观测一直受到广泛的关注,海水电导率是海洋水体最基本的物理要素, 海洋中的各种现象、过程,海洋生物的生存与繁殖,以及人类的海上活动,包括海上军事活 动,几乎都与海水电导率的时空分布直接或间接相关。 现有技术中,海水电导率测量所采用的专门测试设备,设备昂贵、体积庞大、测量 成本高。而MEMS电导率传感器体积小、功耗低、成本低、可大批量生产,适合应用于自动、在 线、长期、连续、多平台、网络化的海洋观测,然而已有的MEMS电导率传感器的抗污染能力较 差...
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