技术编号：9843277
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。微扭转镜与传统光束偏转元件相比，具有能耗低、微型化、易集成等优点，在消费电子、通信、生物医药、军事国防等领域的应用不断扩展，是光学MEMS领域研究的热点。静电梳齿驱动的微扭转镜，特别是基于单片绝缘体上硅(SOI)制作的垂直无偏移梳齿驱动的微扭转镜，结构简单，能量密度大，可以实现大转角，并大大简化了工艺难度，降低了制作成本。为了实现静电梳齿驱动微扭转镜稳定可靠的工作，需要对其进行闭环控制，目前主要通过外加光电探测器和电容检测的方式实现。但前者需要外加高速光电...
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