技术编号：9843333
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。在专利文献I中，记载为“在本发明中，在设置于上腔室的内侧的上载物台形成使粘附销通过的孔，进而设置用于固定具有弹性体的平板的磁铁和螺钉孔，并设成可更换。另外，粘附销的上下机构做成如下结构能够相对上载物台的上下机构独立地动作，采用能够进行速度以及位置控制的伺服马达或者步进马达来进行驱动，能够根据需要制作最佳的脱离条件”(参照第0006段)。专利文献1日本专利第4379435号公报发明内容在专利文献I记载的基板装配装置中，在用多个粘附销来保持(粘附保持)了上基板...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。