技术编号：9843434
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。光刻掩模板一般用石英玻璃作为基体，采用石英是由于其优良的近紫外透过率。掩模板挡光部分用铬(Cr)，所以有时也叫铬板。现有技术是在石英上镀铬，再将铬刻制成相应的版图得到的。这种光刻板在使用过程中，尤其是接触式的使用过程中容易受到损坏，从而造成掩模图形的失真。发明内容本发明的目的是实现仅通过使用石英材料本身来制作掩模图形，从而减少光刻板在重复使用过程中的图形失真。为了达到上述技术目的，本发明提供了一种无铬光刻板，它包括石英基板，所述的石英基板的上表面的预定位置...
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