技术编号:9843607
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 在半导体制造,为了提高生产效率,通常需要多条生产线多台工艺机台 同时进行同一操作。但是由于每一台机台的性能有所不同,有的机台性能优异,有的则性能 较差,性能较差的机台run出来的产品出现质量问题的几率更高。 而在生产中一旦发生产品问题,将花费大量的人力物力调查处理解决。因此,我们 建立了各种各样的方法和系统,对产品特性进行管控,目的都是为了及时追踪掌控产品特 性,避免发生问题之后,再去处理解决。但是当产品已经进行加工生产之后,再对其进行管 控是否真的及时...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。