技术编号：9845338
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。欧姆接触是半导体设备上具有线性并且对称的电流-电压特性曲线(1-Vcurve)的区域。如果电流一电压特性曲线是非线性的，那么这种接触叫做肖特基接触。典型欧姆接触是溅镀或者蒸镀的金属片，低电阻，稳定接触的欧姆接触是影响集成电路性能及其稳定性的关键因素，它们的制备是电路制造的主要工作。欧姆接触是半导体制造中的关键技术，目的是使得半导体材料施加电压时接触处的压降足够小以至不影响器件的性能。如果欧姆接触电阻的可靠性差，会使得器件的开态电阻升高，严重时会改变器件的性...
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