技术编号：9845359
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。微机电系统或MEMS是一种将微型机械和机电元件集成到集成芯片上的技术。通常使用微制造技术来制造MEMS器件。近年来，已经发现了 MEMS器件的广泛的应用。例如，在手机(例如，加速计、陀螺仪、数字罗盘)、压力传感器、微流体元件(例如，阀门、栗)、光学开关(例如，镜子)等中发现了 MEMS器件。发明内容本发明提供一种形成集成芯片的方法，包括在载体衬底的第一侧内形成一个或多个腔体；将所述载体衬底的第一侧接合至设置在微机电系统(MEMS)衬底上的介电层；选择性地图...
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