技术编号:9846214
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。日本东京电子公司是专业的半导体生产线设备供应商之一,其生产的TE5000等离子体刻蚀机,采用等离子体技术进行半导体薄膜材料刻蚀,将设计图形转移到产品上,从而实现特定的立体半导体器件结构。而机台上的电磁阀、机械手臂马达、直流冷却风扇、控制电路板,大多数使用直流24V电源供电。如图1所示,此电源必须具备一专用的接口 11,与TE5000等离子体刻蚀机的接口 12完全一致,且与接口 12连接,所述接口 12输出电源控制信号A和5V电压,所述电源控制信号A是用来控...
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