技术编号:9847372
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 微机电(MEMS,Micro-Electro-Mechanical System)麦克风或称娃电容麦克风因 其体积小、适于表面贴装等优点而被广泛用于平板电子装置的声音采集,例如手机、MP3、 录音笔和监听器材等。 在相关优化技术方案中,不乏众多努力,试图提高硅电容麦克风的信噪比指标,然 而在现有加工工艺条件下仍然缺乏较佳的实现方案。发明内容 本发明的目的是提供一种硅电容麦克风,能在现有工艺水平下通过集成电路的技 术手段,优化灵敏度、信噪比、线性度等技术性...
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