技术编号：9847903
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。如本领域已知，通常需要在光学元件的晶片级封装中使用的光学窗口晶片的选定区域上形成防反射涂层。在红外线(IR)辐射热测量仪的一种应用，例如晶片级封装中，光学窗口晶片(有时称为帽晶片)具有形成在其表面中的多个腔室或者凹槽，每个凹槽被形成用于提供与多个IR检测器(例如，辐射热测量仪)阵列中的相应的一个关联(与其隔开并且设置在其上方)的腔室(具有竖直延伸壁)，所述IR检测器阵列形成在粘附到帽晶片的第二下部晶片中。除了凹槽之外，帽晶片也包括图案化的防反射涂层(ARC...
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