技术编号：9848200
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 机电系统(EMS)包含具有电和机械元件的装置、致动器、换能器、传感器、光学组件 (例如，镜)和电子装置。可以包含(但不限于)微尺度和纳米尺度的多种尺度制造 EMS。举例 来说，微机电系统(MEMS)装置可包含具有范围从约一微米到数百微米或更大的大小的结 构。纳米机电系统(NEMS)装置可包含具有小于一微米的大小(例如，包含小于数百纳米的大 小）的结构。可使用沉积、蚀刻、微影和/或蚀刻掉衬底和/或所沉积材料层的部分或添加层 以形成电和机电装置的其它微机械加...
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