技术编号：9848428
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。图7是传统的声波元件I的横截面示意图。声波元件I包括压电体2、设置在压电体2上的氧化物层130、设置在氧化物层130上的电极3、和设置在氧化物层130上以覆盖电极3的保护膜4。例如，对比文件I公开了与声波元件I相类似的传统的声波元件。现有技术文献专利文献专利文献1国际公开第2005/034347号发明内容声波元件包括压电体、设置在所述压电体上的氧化铝层、设置在所述氧化铝层上的电极、和设置在所述氧化铝层上以覆盖所述电极的保护膜。所述压电体由具有欧拉角(φ，θ...
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