技术编号:9854890
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。多线托板在硅片切割过程中由于硅棒、玻璃及粘接胶水的硬度及热膨胀系数不同,在切割过程中易产生玻璃板破裂,从而引起在切割过程中相应位置的掉片,及后续脱胶过程中的硅片破碎等异常情况,这样一来对成品率有极大的影响。此外托板与燕尾接触面积较大,连接方式为螺钉连接,为了消除打紧螺钉所带来的应力,就必须使托板和燕尾具有较高的表面平整度。因此实际生产中就频繁出现,表面平整度不合格的现象。需要经常返修托板和燕尾,增加了生产成本。且托板和燕尾都的材质均为钢制,重量较重,故操作...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。