一种晶圆级压电振动能量收集器真空封装结构的制作方法技术资料下载

技术编号:9856631

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压电振动能量收集器是利用材料的压电效应将环境中大量存在的振动能转换为电能的器件,与当前的MEMS技术结合,使其不仅具有体积小、寿命长、易集成等优点,在重量、寿命、能量密度、补给速度、可靠性、成本等方面均具有显著优势,是目前解决无线传感网络节点供能问题的有效途径,也是当今国际微能源领域研究的热点之一。尽管基于MEMS技术的压电振动能量收集器已经取得了一定的成果,但由于其频带宽度窄和能量密度低的限制,大大影响了压电振动能量收集器的推广和应用。为解决上述问题,许...
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