技术编号:9856733
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。在半导体行业中,在纯净的半导体产品中掺入极微量的杂质元素,就会使产品的电阻率发生极大的变化。例如,在纯硼中掺入百万分之一的硼元素,其电阻率就会从214000Ω.cm—下子减小到0.4Ω.cm,也就是硼的导电能为提高了50多万倍。由此可见,半导体行业对化学材料的纯净度要求极高。超纯氨水是半导体行业常用的八大超纯化学材料之一,消耗量位居IC行业第三,主要用于硅晶片的扩散、腐蚀、清洗等工艺。芯片工艺中使用的超纯化学品的纯度和洁净度对集成电路(IC)的成品率、电性...
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