技术编号:9856763
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。随着人们生活水平的不断提升,对于所使用的电子产品的质量要求也越来越高,从而带动了电子元器件制备工艺的改进,以此适应对于电子产品质量提升的需求。氧化钒薄膜材料在室温下电阻随温度的变化很敏感,电阻温度系数较大,它是一种满足微测辐射热计要求的敏感材料。现今氧化钒薄膜的研究热点在探索各种新的制备方法上,虽然薄膜性质随制膜处理工艺的不同而有较大差异,但是关于同种制膜方法不同处理工艺对薄膜影响的研究并不多。发明内容本发明旨在提供一种有关氧化钒薄膜的制备工艺方法。—种氧...
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