技术编号：9857006
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 本发明属于液晶基板玻璃，具体涉及。背景技术 LCD玻璃基板(Glass Substrate)指的是液晶显示器用玻璃基板，一块液晶面板需 要两片玻璃基板，其中一片使用在彩色滤光片中，一片使用在透明电极上面。 在制备TFT-LCD面板时，需要在玻璃基板的一个表面制作各种膜、电路和图形，首 先要通过溅射、化学气相沉淀(CVD)等技术在基板玻璃表面形成透明导电膜、绝缘膜、半导 体(多晶硅、无定型硅等)膜及金属膜，然后通过光蚀刻技术形成各种电路和图形。在膜沉积 和...
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