技术编号:9858931
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 随着LED衬底基片直径向大尺寸发展,有蜡抛光方式成为LED衬底基片抛光的一项 主流技术,从而需要引入LED衬底基片去蜡技术。对LED衬底基片去蜡工艺中一些常用的技 术,以前通常的除蜡方法是使用卤代烃溶剂,其中包括三氯乙烯、二氯甲烷、四氯乙烯、三氯 三氟乙烷等有机溶液清洗。卤代烃溶剂是密度大于水,难溶于水的液体。他具有不燃性或难 燃性。卤代烃溶剂清洗效果好,成本低,但由于它对大气臭氧层有破坏作用,目前正面临被 禁止使用的处境,各国都在加紧研究替代这种有机溶...
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