技术编号:9859552
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明通过三明治结构制备氧化钒热敏薄膜的制备方法,属于红外探测器与成像器件领域和节能材料领域。背景技术氧化钒薄膜因为具有很高的电阻温度系数(TCR),适当大小的电阻,并且在相变前后其红外区域的透过率的变化非常明显,所以成为目前最广泛使用的非制冷红外探测器和智能窗用的热敏薄膜材料。二氧化银M相薄膜在68 °C具有半导体到金属相的转变,热滞回线易使器件运行混乱,相变过程中还伴有很大的热量变化,因此,制备出在室温下具有较高TCR,合适的方块电阻的氧化钒热敏薄膜成...
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