一种干式旋片真空泵的制作方法技术资料下载

技术编号:9861416

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本发明涉及真空栗领域,具体涉及一种干式旋片真空栗。背景技术真空栗的种类非常多,按工作原理分,有变容式真空栗、动量传递式真空栗、蒸汽流真空栗、气体捕集真空栗等大类,其中变容式真空栗是指“通过机械运动连续地改变栗腔的容积达到抽气和排气目的的真空栗”,变容式真空栗又可细分为往复式活塞栗、旋片式真空栗、滑阀式真空栗、罗茨栗等多种形式。传统的变容式真空栗通常需要在栗腔内使用油或其它液体以起到密封和润滑运动部件的作用,这些油或液体会在栗腔中挥发变成蒸汽,通过管道进入真...
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