技术编号：9862762
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。近年来，已开发出利用娃MEMS(Micro Electro Mechanical System微机电系统)技术来对物理量进行检测的惯性传感器。尤其，对角速度进行检测的陀螺传感器正在急速推广到例如数码相机(DSC)的手抖修正功能、汽车的导航系统、游戏机的运动传感功能等的用途。作为这样的陀螺传感器，例如，在专利文献I中，已公开相互以反相位对两个振动质量体进行驱动振动的方式经由由连结质量体和振动弹簧构成的连结范围而对两个振动质量体进行机械结合的结构。在专利文献I...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。