技术编号：9862763
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。半球型谐振陀螺仪作为一种惯性姿态测量器件，具有很高的测量精度，超强的稳定性和可靠性，良好的抗冲击振动性及温度特性，独特的关机抗辐射能力，超长的寿命，启动时间短等突出优点，被惯性技术界认为是一种在21世纪先进的捷联惯导系统中最理想的元件。2014年，美国佐治亚理工大学的P.Shao等人在其最新的论文中介绍了一种利用3D-HARPSS工艺制作的自校准大电容电极的半球壳，半球壳的直径为1200μπι，厚度为Iym并且半球壳谐振陀螺仪的闭环敏感标度因数达到8.75...
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