技术编号：9863014
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 近年来，力敏传感器作为检测物质质量、力的大小的主要手段，广泛的应用于环境 检测，工业生产，食品安全等多个方面。谐振式传感器件体积小，谐振频率高，因而具有较高 的灵敏度，如谐振式气体传感器等。悬臂梁作为微系统中最经典，简洁的结构，对质量变化 敏感，且易于微小制造。谐振式悬臂梁型力敏传感器利用质量敏感薄膜特异性的吸附物质 分子，将梁的质量变化转变为谐振频率的偏移，获取偏移量并通过电信号输出，即可获得所 测物质的质量。在此过程中，设计高灵敏度的力敏传感器是国内...
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