技术编号:9863721
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。—直以来,已知一种对角速度或加速度等的物理量进行检测的物理量传感器(例如,专利文献I)。专利文献I所记载的物理量传感器为一种电容型加速度传感器,所述电容型加速度传感器具备惯性质量体、可动电极、固定电极、配线、对这些部件进行支承的基板、设置于基板的上表面侧且具有对惯性质量体、可动电极以及固定电极进行收纳的凹部的上表面保护基板、设置于基板的下表面侧的下表面保护基板。在物理量传感器中,配线被设置于基板的上表面侧。另外,上表面保护基板在俯视观察时的大小与基板相比而...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。