一种基于mems硅-玻璃工艺的七电极电导率传感器的制造方法技术资料下载

技术编号:9863822

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目前,海洋观测一直受到广泛的关注,海水电导率是海洋水体最基本的物理要素,海洋中的各种现象、过程,海洋生物的生存与繁殖,以及人类的海上活动,包括海上军事活动,几乎都与海水电导率的时空分布直接或间接相关。现场测量海水电导率的传感器主要分为电极式和感应式,其中电极式电导率传感器后续处理电路简单、测量精度高、使用方便,广泛用于海水的电导率测量中。电极式电导率传感器一般采用多电极结构,其中,七电极电导率传感器与常用的两电极、三电极、四电极电导率传感器相比,精度更高,...
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