技术编号：9864145
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。由半导体材料形成平面光路(PLC)的技术在本领域已经普及。常规PLS通常由电介质材料例如铌酸锂(LiNbO3)制成。因为大多数半导体材料的折射率大于LiNbO3的折射率，半导体材料的PLC不仅减小其平面尺寸，而且减小其截面。带有台面结构的光波导具有由台面宽度和波导层厚度确定的有效尺寸。前一种尺寸延伸至数微米(μ m)，但后一种尺寸被迫限制于亚微米。对于波导的光耦合增强效率的常规已知技术是在露出光波导的母料端面附近，设置光斑尺寸转换器(SSC)。SSC可以同...
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