增加光阻预烤炉内独立温控区域数量的结构的制作方法技术资料下载

技术编号:9864751

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按,玻璃基板是液晶显示装置(TFT-1XD)的主要制程原料,就是俗称的母玻璃或素玻璃,是一种高精密透明的电子零件,玻璃在液晶显示装置(TFT-LCD)产业中扮演的角色好比是半导体产业中的晶圆,因此液晶显示装置(TFT-LCD)产业对玻璃基板表面精密度的要求近乎完美。其次,液晶显示装置(TFT-1XD)的制程是分别利用两块无碱玻璃基板,于无碱玻璃基板表面构装彩色滤色片与IC电路,并将玻璃基板表面经过干式蚀刻,将红、蓝、绿三原色与黑色以微细的结构建置于玻璃表面...
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