一种蓝宝石pss片雷刻系统及其加工方法技术资料下载

技术编号:9868185

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蓝宝石的组成为氧化铝是由三个氧原子和两个铝原子以共价键型式结合,晶体结构为六方晶格结构,其具有很好的热稳定性和介电特性,且其化学惰性强、光透性能好,具有很好的耐磨性,它是一种集优良光学性能、物理性能、机械性能和化学性能于一体的多功能氧化物晶体。从上述的特性可以看出蓝宝石的用途非常广泛,例如手机、电脑、手表等屏幕或者保护面板,其中最重要的一个用途就是作为氮化物基LED器件发光二极管的首选衬底片材料。近年来,通过半导体处理工艺,在蓝宝石衬底上制备周期排列的图形...
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