具有栅沟槽下方的电荷补偿区的半导体器件的制作方法技术资料下载

技术编号:9868339

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半导体晶体管、特别是诸如金属氧化物场效应晶体管(MOSFET)和绝缘栅双极型晶体管(IGBT)之类的场效应控制的开关器件已经用于多种多样的应用中,诸如电源、功率转换器、电动汽车和空调。这些应用中的许多是高功率应用,其要求晶体管能够容纳很大电流和/或电压。在高功率应用中,对器件的整体性能起实质作用的两个器件参数是开态电阻Ron和击穿电压Vbr。较低的开态电阻Rqn对于功率晶体管而言是合期望的特性,因为其使在器件处于正向传导状态时发生的电阻功率损耗(和对应的热...
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