技术编号:9868377
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。近年来,新型平板显示(Flat Panel Display,FPD)产业发展日新月异,对于大尺寸、高分辨率平板显示的高需求日益提升。作为FPD产业核心技术的薄膜晶体管(ThinFilm Transistor,TFT)背板技术,也在经历着深刻的变革。金属氧化物(Metal Oxide,MO) TFT不仅具有迀移率较高、可以常温制备、可见光透明等特点,而且还具有优异的大面积均匀性,因此氧化物TFT技术自诞生以来便备受业界瞩目。金属氧化物半导体TFT技术因兼具多...
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