技术编号：9868380
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。在集成电路的领域中，金属绝缘体金属(Metal-1nsulator-Metal，MIM)电容器的发展逐渐受到重视，尤其在功能性电路的使用上，例如，混合信号电路、模拟电比、射频电路、动态随机存取存储器(DRAM)以及逻辑运算电路等。在美国专利US8，143，699中，即公开一种使用两层介电质的M頂电容器。图1为美国专利US8，143，699所公开的M頂电容器横截面图。在图1中，M頂电容器10的基板12可分为一第一区域100与一第二区域200，其上方各有一个电...
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