技术编号：9870970
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 本发明涉及半导体器件制造领域，涉及，特别是一 种具有凹形背板的麦克风器件及其制作方法。背景技术 在随着移动通信技术的快速发展，消费者越来越多地使用通信设备，如智能手机、 笔记本电脑、平板电脑等；并且送些电子产品体积不断缩小、性能越来越高，相应的要求配 套的电子元件的体积不断减小、且性能和一致性提高。目前，MEMS麦克风由于其小型化和轻 薄化的特点，成为取代使用有机膜的驻极体电容麦克风的最佳候选者。MEMS麦克风通过与 集成电路制造兼容的表面加工工艺制造而...
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