技术编号:9871558
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 本发明设及等离子体密度测量技术,具体设及一种基于驻极体的等离子体密度测 量系统及其测量方法。背景技术 等离子体测量是一项综合性很强的技术,其方法可分为主动式测量和被动式测量 两大类。主动式测量包括探针法、微波法、阻抗测量法等,被动式测量主要有化omson散射 法、光谱法等。目前最常使用的等离子体测量方法有探针法和光谱法,探针法测量主要存在 的缺点是该测量方法要求等离子体中粒子的平均自由程A大于探针尺寸;同时该测量方法 测量周期长,测量误差大,数据处理自动...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。