技术编号：9872564
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。外延是指通过上覆层在晶体衬底(其中上覆层与衬底对齐)上的生长的沉积。衬底表面充当用于生长的晶种层。外延材料可为从气体或液态前驱物生长。由于衬底表面充当晶种，因此外延生长锁定为晶体衬底的一或多个晶体图形定向。外延生长广泛用于集成电路的制造中且可在各种类型的晶体基底材料(举例来说，半导体衬底)上制作且由各种外延材料制作。作为实例，外延硅生长可提供于硅衬底上，例如块体硅衬底及绝缘体上硅(SOI)衬底。然而，外延生长的材料趋向于在生长期间于所生长材料的限制侧边缘处...
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