立式退火炉及炉内氢气含量控制方法和装置的制造方法技术资料下载

技术编号:9882507

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在大型立式退火炉中,在炉内充满氮气与氢气混合物,由于工艺需要炉内氢气的含量可能宽范围调整,例如为氮气量的1%?20%,上述含量范围为体积百分比范围;向炉内充氮气是为了稳定炉压,其需要氮气量有一个波动范围,例如800?1000m3/h,则相应的氢气波动范围约在8?200 m3/h,其最大流量是最小流量的25倍。这极大的考验流量计与调节阀门的性能,进而影响控制精度。当在低氢气流量时,使用单一流量计与调节阀门配合,既不能保证氢气流量计量的准确性又不能保证调节阀门...
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