技术编号：9882725
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。碳化硅外延、紫外LED外延以及其他单晶材料需要高温生长环境。尤其是碳化硅材料是一种高性能的人造材料，具有高强度、高热导率、高耐磨性和耐腐蚀性等特点，在航空航天、汽车、机械电子、化工等工业领域得到广泛的应用，被人誉为上帝创造的材料。碳化硅的耐磨性能是铸铁、橡胶使用寿命的5-20倍，莫氏硬度为9.5级，仅次于世界上最硬的金刚石(10级)，高硬度和耐磨性能决定了碳化硅是一种很有前景的耐磨材料，目前已被广泛作为磨料用于研磨玻璃、陶瓷、石材、硬质合金、钛合金等。但是...
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