旋转靶材表面厚度、平面度的检测方法及检测系统的制作方法技术资料下载

技术编号:9885351

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为了保护旋转靶材的表面不受腐蚀或具有某种特性时,一般采用喷涂技术将靶材喷涂到旋转靶材的表面。每次喷涂靶材沉积厚度一般为20-50微米,如需在旋转靶材表面喷涂沉积厚度为6mm-20mm的革E材需要使喷枪来回往返喷涂50-500次,使得喷涂过程一般持续10-20小时。因喷涂过程长,在喷涂过程中原材料、工作气压、送粉量、机械行走参数和外界因素等,都会影响喷涂沉积的表面质量和喷涂效率,喷涂沉积厚度的细微波动经过多次累计叠加,会导致靶材厚度不一致,例如长度为3-5m...
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