技术编号：9886726
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 深紫外光刻是当前产业化的光刻技术。深紫外光刻物镜作为深紫外光刻机的核心 部件是实现高分辨率光刻的关键。在深紫外波段可用的光学材料仅剩下熔石英和氟化钙， 上述两种材料的折射率较低，因此深紫外光刻物镜系统的光焦度需要分配到较多的元件上 才能实现像差校正。最初深紫外光刻采用全折式物镜设计，整个物镜系统仅有折射元件不 含反射镜。全折式深紫外光刻物镜为了校正场曲，必须采用光焦度较大的负透镜来平衡正 透镜的匹兹万和。这就导致负透镜组附近的正透镜的口径随物镜数值孔径和...
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