技术编号：9886822
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。目前，各种工艺具有数据采集功能。以半导体制程为例，数据采集(DC，DataCapture)系统会实时采集各种工艺数据，具体而言，该DC系统通常会随着时间的递增记录下各个工艺过程参数值，如压力，温度，射频电压等。通过分析采集到的工艺数据，操作人员不但可以监控分析设备的状况，还可以分析寻找工艺改进的方向，提高工艺的结果。因此，如何能够方便、快捷地分析工艺数据，以便工艺工程师或设备工程师通过工艺数据对机台设备及工艺现状进行监控和改进，在工艺发展中有着不可忽视的作...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。