低温多晶硅tft阵列基板的制作方法技术资料下载

技术编号:9889922

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薄膜晶体管(ThinFilm Transistor,TFT)是目前液晶显示装置(Liquid CrystalDisplay,IXD)和有源矩阵驱动式有机电致发光显示装置(Active Matrix Organic Light-Emitting Di ode, AMO LED)中的主要驱动元件,直接关系平板显示装置的显示性能。薄膜晶体管具有多种结构,制备相应结构的薄膜晶体管的材料也具有多种,低温多晶娃(Low Temperature Poly_silicon...
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